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SEMI F57標準介紹
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SEMI F57用于超純水和液態化學品輸送系統的聚合物材料及組件的規范文件。標準規定了在UPW分配系統中輸送超純水(UPW)的超高純度(UHP)聚合物材料和組件的最低性能要求。主要針對聚合物材料和組件的性能要求和驗證。
國際半導體產業協會SEMI為半導體制程設備提供了一系列環境、安全和衛生方面的準則，適用于所有用于芯片制造、量測、組裝和測試的設備。半導體先進制程工藝中使用的超純水，超純化學品的使用要求日益提高，材料的選擇在半導體濕法工藝中越發重要，對含氟聚合物的純度要求也越來越高。SEMI F57標準對UHP液態化學品輸送系統(LCDS)中高聚合物材料和組件的選擇、生產過 程、產品結構設計等各方面均提出了要求和有效建議。
SEMI F57標準適用產品
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半導體超純水
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