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　　在半導體制作工藝中，50%以上的工序需要晶圓與超純水直接接觸，80%以上的工序需要進行化學處理，而化學處理又與超純水有關，水中的雜質會進入晶圓，如果帶入過量的雜質，就會導致器件性能下降，影響產品性能。因此，制備高品質的超純水已成為發展大規模集成電路的重要前提技術。

　　純水的分類

　　在半導體生產過程中，各種產品對水的純度要求各不相同。通常將純水分為純水和超純水兩種。

　　純水，純水又稱去離子水，即去掉陰、陽離子和有機物等雜質的水。將蒸餾水（電阻率在5千歐?厘米以上）經過離子交換后除去水中的強電解質、大部分硅酸及碳酸等弱電解質后，此時的水在25℃時電阻率可達5兆歐?厘米以上，得到半導體工藝清洗用的純水。

　　超純水，隨著半導體技術特別是大規模集成電路的發展，對水的要求越來越高，一般純水已不能滿足工藝的要求，因此出現純度更高的超純水，又稱高純水。

　　超純水是將純水再經過陽離子交換樹脂、陰離子交換樹脂和混合離子交換樹脂及紫外照射殺菌等方法后獲得的。超純水要求所含的懸浮顆粒直徑在0.45微米以下，細菌數為0～10個/毫升，25℃時電阻率在10兆歐?厘米以上。

　　目前制出的超純水純度已能達到99.99999%，水的電阻率能達到18兆歐?厘米以上。

　　純水和超純水的雜質主要分為三類：

　　痕量金屬雜質，容易污染的比如鈉、鉀、鈣、鎂、硼等，同時也需要控制特殊工藝受影響的元素。

　　痕量陰陽離子雜質，如常見的陰離子為氟離子、氯離子、硝酸根、硫酸根、磷酸根等，陽離子如銨根、鋰、鈉、鉀、鎂、鈣等離子。

　　痕量的有機污染物等。

　　由于雜質要求達到ppt等級時，電導率不再是可以表征超純水中雜質，特別是金屬雜質和陰陽離子雜質的有效手段。只有通過用先進的分析儀器來測定金屬和離子的真實含量，才能了解超純水的真實質量。

　　和一般的測試不同，超純水對測試系統的要求非常高，包括采樣環境、采樣設備、人員的經驗和樣品運輸，以及測試的時效性都是影響超純水測試結果的重要因素。

　　英格爾配備高端潔凈室、高端分析儀器和全套在線檢測設備，引進世界先進檢測經驗和系統，以及資深采樣和檢測工程師，能夠提供針對超純水的全套超痕量雜質分析服務，確保您的超純水“超純”。

　　英格爾超純水測試能提供各種模式的服務

　　供客戶選擇

　　樣品采集

　　資深英格爾工程師到客戶現場進行采樣和在線的測試，在線測試更符合極端水質驗證要求。

　　英格爾提供經驗證的干凈采樣瓶供客戶免費使用，同時提供采樣指引，由客戶采集樣品并寄送樣品到英格爾實驗室進行分析，此種是英格爾推薦的最佳服務方式，既保證測試結果又節省費用支出。

　　客戶使用自己的采樣瓶并采集樣品寄到英格爾實驗室進行分析，采用這種方式可兼顧客戶對樣品瓶的驗證。

　　樣品測試

　　英格爾超純水測試服務能提供的客戶現場在線分析包括：

　　在線總有機碳(TOC)測試

　　在線微粒子(Particle)測試

　　在線電導率測試

　　在線溶氧測試等

　　英格爾超純水測試服務能提供的實驗室分析服務包括：

　　金屬含量

　　二氧化硅

　　陰陽離子

　　總有機碳(TOC)

　　微粒子(Particle)

　　菌落總數

　　電導率

　　PH

　　碳酸根CO32-

　　溶氧、可溶解硅等。